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電子無塵車間

電子無塵車間適合行業(yè)有半導(dǎo)體

、微電子
、電子光學(xué)制造、精密制造、液晶制造、線路板等,一般凈化級別在10萬級。


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電子無塵車間:

電子無塵車間適合行業(yè)有半導(dǎo)體、微電子

、電子光學(xué)制造、精密制造
、液晶制造
、線路板等,一般凈化級別在10萬級


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電子無塵車間基本結(jié)構(gòu):

EPS凈化板現(xiàn)場吊頂

、圍墻拼裝,內(nèi)壁全部作圓弧處理
,鋁型材包邊美縫
,環(huán)氧自流地坪,杜絕灰塵的積聚

 

電子無塵車間凈化原理:

氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機送風(fēng)→管道→高校凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆?div id="d48novz" class="flower left">

!仫L(fēng)百葉窗→初效凈化重復(fù)以上過程,即可達到凈化目的

 

電子無塵車間特點:

1

、潔凈度等級要求高,風(fēng)量、溫度
、濕度
、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度
、無塵車間截面風(fēng)速按設(shè)計或規(guī)范受控
,另外該類無塵車間對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚

2

、電子制造廠萬級無塵車間內(nèi)的噪聲級(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)

3、電子制造廠無塵車間垂直流無塵車間滿布比不應(yīng)小于60%

,水平單向流無塵車間不應(yīng)小于40%
,否則就是局部單向流了。

4

、電子制造廠無塵車間與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa
,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa

5、電子制造行業(yè)萬級無塵車間內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的最大值:

6

、補償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和

7、保證供給無塵車間內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3

電子無塵車間送風(fēng)量:           

電子制造行業(yè)無塵車間凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器

,應(yīng)設(shè)置新風(fēng),超溫斷電保護
,若采用點加濕時應(yīng)設(shè)置無水保護
,寒冷地區(qū),新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護措施
。無塵室的送風(fēng)量
,應(yīng)取下面三項最大值:

1、保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風(fēng)量:

2

、根據(jù)熱
,濕負荷計算確定電子廠無塵車間的送風(fēng)量:

3、向電子制造廠無塵車間內(nèi)供給的新鮮空氣量:


電子無塵車間等級說明:

等級

等級說明及車間應(yīng)用

10級

這個級別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)

100級

很多人認為

,這一級無塵車間是最常用因而是最重要的無塵車間
,人們常常錯誤地將100級潔凈室稱為無菌室,以說明“無菌”的或“無塵”的環(huán)境要求
,100級無塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造工藝等
,這一潔凈室大量應(yīng)用于,植如體內(nèi)物品的制造
,外科手術(shù)
,包括移植手術(shù),集成器的制造
,那些對細菌感染特別敏感的病人的隔離治療
,比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療

1000級

這個級別的無塵車間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測試

,裝配飛機蛇螺儀
,裝配高質(zhì)微型軸承等

10000級

萬級無塵車間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè)

,此外
,萬級無塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常用

100000級

十萬級無塵車間用于很多的工業(yè)部門,比如光學(xué)產(chǎn)品的制造

,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng)
,液壓或氣壓系統(tǒng)的制造,食品飲料的生產(chǎn)
,醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這一級無塵車間

 

電子無塵車間潔凈級別表:

潔凈度級別

塵粒最大允許數(shù)/立方米≥0.5μm塵粒數(shù)

≥5μm塵粒數(shù)

微生物最大允許數(shù)浮游菌/立方米

沉降菌/皿

100級

3500

0

5

1

10,000級

350000

2000

100

3

100

,000級

3500000

20000

500

10

300

,000級

10500000

60000

1000

15

 

電子無塵車間凈化參數(shù):

換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次;1000級≥30次;

壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa;

平均風(fēng)速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃;

濕度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電;

噪聲≤65dB(A);

新風(fēng)補充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX

電子無塵車間方案一:

組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風(fēng)口

這是一個最傳統(tǒng)京哈空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計方案。組合式空氣處理機組里含有各種功能段

,如混合段
、初效過濾段、表冷段
、二次回風(fēng)段(或中間段)
、加熱段、加濕段
、中效過濾段
、風(fēng)機段等。其冷源由冷水機組提供

電子無塵車間方案一特點:

建議新風(fēng)經(jīng)過集中處理后再與回風(fēng)混合

,這樣就可以減少表冷段的冷處理負擔;這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級
、千級或萬級
、十萬級等較低的凈化無塵廠房。

電子無塵車間方案二:

水冷機柜+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口

與前種方案比價破

,這是相對比較簡單的空調(diào)方案
。他可以大大地縮小機房的面積,水冷柜機可以根據(jù)具體的情況布置于較小機房內(nèi)或凈化車間內(nèi)
,增壓風(fēng)柜也可以布置于機房內(nèi)或吊在機房內(nèi)或夾層內(nèi)

電子無塵車間方案二特點:

這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng)。具體根據(jù)車間的大小情況而定

;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級
、萬級、十萬級等的凈化無塵廠房

電子無塵車間方案三:

分體空調(diào)柜機+FFU送風(fēng)口

這是最簡易的一個空調(diào)方案

。是直接將分體空調(diào)柜機布置于車間內(nèi),并用彩鋼圍護起來
。再柜機回風(fēng)口處再在彩鋼板上開回風(fēng)口(帶初效過濾網(wǎng))
;KLC風(fēng)機過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案適用于室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間


電子無塵車間技術(shù)參數(shù):


潔凈度懸浮粒子最大允許數(shù)/立方米微生物最大允許數(shù)
≥0.5um≥5um浮游菌沉降菌
靜態(tài)動態(tài)靜態(tài)動態(tài)cfu/立方米cfu/4h
A級352035202020<1<1
B級3520352000292900105
C級352000352000029002900010050
D級3520000不作規(guī)定29000不作規(guī)定200100